5月12日消息，據(jù)招標平臺信息顯示，5月10日，上海積塔半導體多項設備中標結果公布。

結果顯示，北方華創(chuàng)、拓荊科技、芯源微、阿斯麥（ASML）等成功中標上海積塔特色工藝生產(chǎn)線項目33臺設備。

其中，北方華創(chuàng)中標10臺設備，包括合金化工藝低壓立式爐管、緩沖層氧化膜爐管、鋁刻蝕機、鋁金屬物理氣相沉積機、鋁銅金屬濺射設備等；拓荊科技中標3臺二氧化硅等離子薄膜沉積設備、8臺二氧化硅氮化硅氟化硅氮氧化硅等離子薄膜沉積設備；芯源微中標1臺聚合物涂膠顯影機；阿斯麥（ASML）中標2臺i-line光刻機、1臺KrF光刻機。

以此計算，北方華創(chuàng)、拓荊科技、芯源微三家合計中標量占比約67%，國產(chǎn)設備比重較大。

那么，從今年1-4月國內主要晶圓廠對于半導體設備采購的中標情況來看，國產(chǎn)半導體設備的占比又有多高呢？

國內十大晶圓廠今年1-4月設備采購累計開標401臺

由于半導體設備應用的工藝流程和重要性的不同，我們主要統(tǒng)計光刻、刻蝕、沉積、清洗等涉及核心工藝的關鍵設備中標情況，并將關鍵半導體設備區(qū)分為制程核心設備（包含光刻、刻蝕、沉積、離子注入設備）、良率提升設備（包括前道檢測設備、后道測試設備、清洗設備）以及重要輔助設備（包括爐管設備、CMP 拋光設備、干法去膠設備、涂膠顯影設備），并排除二手翻新設備影響。

通過對長江存儲、華力集成、華力微電子、福建晉華、華虹無錫、合肥晶合、上海積塔、中車時代、中芯紹興、武漢新芯 10 家中國大陸主要的 IDM 或晶圓代工企業(yè)為統(tǒng)計樣本，通過中國國際招標網(wǎng)對上述晶圓廠中標情況進行梳理。2022 年 4 月國內 10 家主流晶圓廠共開標 108臺工藝設備，前四個月合計開標 401 臺工藝設備。

2022 年 4 月開標的 108 臺設備主要來自上海積塔（78 臺）、華虹無錫（20 臺）、福建晉華（5 臺）、時代電氣（3 臺）、華力微電子（1 臺）、華力集成（1 臺），上海積塔及華虹無錫擴產(chǎn)貢獻主要增量。

2022 年 1- 4 月開標的 401 臺設備主要來自華虹無錫（268 臺）、上海積塔（104 臺）、時代電氣（14 臺）、福建晉華（12 臺）、華力集成（2 臺）、華力微電子（1 臺），華虹無錫及上海積塔貢獻主要增量。

1-4月采購設備以爐管、刻蝕、沉積設備為主

晶圓廠設備布局往往以光刻機為核心，圍繞以多臺刻蝕、薄膜沉積、清洗等設備，由于不同招標批次對應設備采購種類不同，因此不同時期工藝設備招標種類也會有所不同。

2022 年 4 月開標的 108 臺設備中，按照不同工藝設備開標數(shù)量從高到低排列，分別為爐管設備（30 臺）、刻蝕設備（29 臺）、前道檢測設備（10 臺）、清洗設備（10 臺）、干法去膠設備（9 臺）、沉積設備（8 臺）、離子注入機（4 臺）、涂膠顯影設備（4臺）、后道測試設備（2 臺）、光刻機（1 臺）、拋光設備（1 臺）。爐管、刻蝕設備貢獻 2022 年 4 月主要擴產(chǎn)增量。

2022 年 1-4 月開標的 401 臺設備中，按照不同工藝設備開標數(shù)量從高到低排列，分別為爐管設備（112臺）、刻蝕設備（61 臺）、沉積設備（61 臺）、前道檢測設備（48 臺）、后道測試設備（35 臺）、離子注入機（18 臺）、清洗設備（17 臺）、拋光設備（15 臺）、涂膠顯影設備（14 臺）、干法去膠設備（14 臺）、光刻機（6 臺）?？偟膩砜矗瑺t管、刻蝕、沉積設備貢獻 2022 年 1-4 月主要擴產(chǎn)增量。

1-4月設備采購中標國產(chǎn)率24.2%

我們以設備中標臺數(shù)計算國產(chǎn)率（包含擁有翻新業(yè)務的廠家），由于不同設備價值量不同，因此與實際市場規(guī)模測算的國產(chǎn)率有一定差異。且考慮不同晶圓廠、不同工藝設備的招標批次不同，中國大陸廠家中標頻次分布未必平均，造成國產(chǎn)率有一定波動。

從年度數(shù)據(jù)來看，2021年設備國產(chǎn)率達 27.4%，較 2020 年 16.8%有明顯提升。2022 年 4 月主流晶圓廠開標的 108 臺設備中，源自中國大陸廠家制造的設備共計 67 臺，占比達 62%；2022 年 1-4 月開標的 401 臺設備中，源自中國大陸廠家制造的設備共計 97 臺，占比達 24.2%。雖然較2021年有所降低，但這可能是由于國內廠商采購節(jié)奏有關，預計全年的設備國產(chǎn)率仍將有望超過2021年。

上海積塔1-4 月設備采購中標國產(chǎn)率達42.3%

2022 年 1-4 月開標的 401 臺設備主要來自華虹無錫（268 臺）、上海積塔（104 臺）、時代電氣（14 臺）、福建晉華（12 臺）、華力集成（2 臺）、華力微電子（1 臺）。國產(chǎn)設備中標數(shù)較多的晶圓廠為上海積塔（44 臺）、華虹無錫（40 臺）、時代電氣（8 臺）、福建晉華（5 臺）。其中上海積塔國產(chǎn)率達42.3%%，華虹無錫開標設備中國外設備占比相對較高，國產(chǎn)率約為 14.9%。

回顧2020及2021年度各晶圓廠設備采購中標國產(chǎn)率，上海積塔的設備采購國產(chǎn)化率也是位居第一，分別達到了75.9%和35.4%。如果將上海積塔2020年、2021年、2022年1-4月及截至目前的5月（67%）的設備采購國產(chǎn)化率占比平均來看，其設備采購國產(chǎn)化率仍高達55%以上。

1-4月干法去膠、刻蝕、清洗、離子注入設備采購中標國產(chǎn)率較高

近年來受益于北方華創(chuàng)、中微公司、盛美半導體、芯源微、屹唐半導體、至純科技、華海清科等中國大陸廠家的不斷發(fā)展，在刻蝕、沉積、清洗、拋光、干法去膠、爐管、涂膠顯影等領域半導體設備中標國產(chǎn)率較高。

2022年1-4月，按照國產(chǎn)設備中標數(shù)量從高到低排序，不同工藝設備國內廠家中標情況如下：刻蝕設備（31 臺）、爐管設備（22 臺）、干法去膠設備（10 臺）、清洗設備（7 臺）、離子注入機（7 臺）、沉積設備（6 臺）、后道測試設備（4 臺）、前道檢測設備（3 臺）、涂膠顯影設備（3 臺）。

其中國產(chǎn)率較高的環(huán)節(jié)主要為干法去膠設備（國產(chǎn)率 71%）、刻蝕設備（50.8%）、清洗設備（41.2%）、離子注入機（38.9%）、拋光設備（26.7%）、涂膠顯影設備（21.4%）。

回顧2020及2021年度各類設備采購中標國產(chǎn)率情況，干法去膠（47.4%和45.0%）、CMP拋光（36.4%和41.7%）、清洗（32.0%和34.7%）、刻蝕（32.5%和24.4%）、爐管設備（22.7%和23.9%）的國產(chǎn)率相對較高。

北方華創(chuàng)等國產(chǎn)設備廠商受益

按設國產(chǎn)備廠商中標情況來看，2022 年 4 月份中標較多的中國大陸廠家為北方華創(chuàng)、中微公司、芯源微、屹唐、上海精測、盛美上海等（暫時不分析含有翻新業(yè)務的中國大陸廠家）。

北方華創(chuàng)合計中標 33 臺：中標上海積塔 33 臺設備，其中爐管設備 21臺，刻蝕設備 12 臺。

中微公司合計中標 13 臺：中標華虹無錫 12 臺刻蝕設備，中標時代電氣1 臺刻蝕設備。

屹唐半導體合計中標 10 臺：中標華虹無錫 8 臺設備，其中 7 臺干法去膠機，1 臺熱退火設備，中標上海積塔 2 臺灰化機。

芯源微合計中標 7 臺：中標上海積塔 6 臺設備，其中刷片機 5 臺，涂膠顯影機 1 臺，中標福建晉華 1 臺涂膠顯影機。

上海精測合計中標 1 臺：中標福建晉華 1 臺電子顯微鏡。

盛美上海合計中標 1 臺：中標福建晉華 1 臺濕法清洗設備。

另外，根據(jù)中國國際招標網(wǎng)數(shù)據(jù)，今年1-3月國產(chǎn)設備廠商中標結果顯示：北方華創(chuàng)13臺，包括薄膜/干法刻蝕/爐管；盛美上海9臺，包括濕薄膜/濕法/后道封裝；拓荊科技3臺，均為薄膜設備；華海清科3臺，均為CMP設備；芯源微2臺，均為涂膠顯影設備；上海微電子2臺，為爐管設備；至純1臺，為濕法清洗設備；中科信1臺，為離子注入設備；吉姆西（二手設備廠商）3臺，為CMP及檢測/量測設備。

來源：中國國際招標網(wǎng)、德邦研究所、民生證券 芯智訊